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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 设备仪器 » 【求助】磁控溅射制备Zn薄膜，能起辉，辉光颜色为白色，薄膜不能沉积
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xyzzhlyf

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 欧姆007 at 2016-12-21 12:28:29
金属溅射的辉光不应该是白色，我看过一篇硕士论文，里面提到氩气流量的变化会引起辉光颜色的变化，金属完全可以用直流溅射啊，

没做过别乱说，很多都是白色的

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11楼2016-12-21 12:42:23
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xyzzhlyf

铜虫 (小有名气)
镀了多久？

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12楼2016-12-21 12:44:39
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xyzzhlyf

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
看了评论我说两点，1、偏压几乎不影响沉积速率2、RF电源也是可以溅射金属的。建议楼主三点：1、加长时间2、调整工作距离3、别让锌靶熔（长时间溅射很容易化了）慢慢试试，尽量学会自己思考问题

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13楼2016-12-21 12:55:29
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欧姆007

金虫 (小有名气)
引用回帖:
13楼: Originally posted by xyzzhlyf at 2016-12-21 12:55:29
看了评论我说两点，1、偏压几乎不影响沉积速率2、RF电源也是可以溅射金属的。建议楼主三点：1、加长时间2、调整工作距离3、别让锌靶熔（长时间溅射很容易化了）慢慢试试，尽量学会自己思考问题
...

偏压不会影响沉积速率？你做过又坐过几组偏压的实验，，，

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14楼2016-12-21 13:01:25
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shangji56

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
12楼: Originally posted by xyzzhlyf at 2016-12-21 12:44:39
镀了多久？

三个小时
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15楼2016-12-21 13:37:52
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shangji56

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
13楼: Originally posted by xyzzhlyf at 2016-12-21 12:55:29
看了评论我说两点，1、偏压几乎不影响沉积速率2、RF电源也是可以溅射金属的。建议楼主三点：1、加长时间2、调整工作距离3、别让锌靶熔（长时间溅射很容易化了）慢慢试试，尽量学会自己思考问题
...

时间，溅射功率，靶基距，气压都试过了，解决不了才上来问的。
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16楼2016-12-21 13:39:20
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
9楼: Originally posted by shangji56 at 2016-12-21 10:35:53
有人说这种现象叫做假起辉，请问你听过这个名词吗，这是什么原因造成的...

没听过 所谓的假起辉 直接换块靶材试试就知道了

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17楼2016-12-21 18:49:34
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13015538501

新虫 (初入文坛)
建议用直流溅射，并且靶材要保证纯度，内部质量，表面质量，先检查厂家提供的靶材

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18楼2017-05-24 11:56:05
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jackyang1995

新虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by shangji56 at 2016-12-21 09:40:10
我这里只有射频电源。我试过把气压降低，降到0.5Pa的时候就灭弧了，基底清洗干净了。刚才听说这种现象叫做假起辉，不知道哪位大神有了解，这是什么原因造成的...

提高电压降电流

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19楼2018-04-28 08:24:10
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peimio

新虫 (初入文坛)
最后镀上了麽？？我最近用共蒸发法也镀不上……

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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20楼2018-10-30 23:36:35
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