10楼: Originally posted by 欧姆007 at 2016-12-21 12:28:29
金属溅射的辉光不应该是白色，我看过一篇硕士论文，里面提到氩气流量的变化会引起辉光颜色的变化，金属完全可以用直流溅射啊，

13楼: Originally posted by xyzzhlyf at 2016-12-21 12:55:29
看了评论我说两点，1、偏压几乎不影响沉积速率2、RF电源也是可以溅射金属的。建议楼主三点：1、加长时间2、调整工作距离3、别让锌靶熔（长时间溅射很容易化了）慢慢试试，尽量学会自己思考问题
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12楼: Originally posted by xyzzhlyf at 2016-12-21 12:44:39
镀了多久？

13楼: Originally posted by xyzzhlyf at 2016-12-21 12:55:29
看了评论我说两点，1、偏压几乎不影响沉积速率2、RF电源也是可以溅射金属的。建议楼主三点：1、加长时间2、调整工作距离3、别让锌靶熔（长时间溅射很容易化了）慢慢试试，尽量学会自己思考问题
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9楼: Originally posted by shangji56 at 2016-12-21 10:35:53
有人说这种现象叫做假起辉，请问你听过这个名词吗，这是什么原因造成的...

7楼: Originally posted by shangji56 at 2016-12-21 09:40:10
我这里只有射频电源。我试过把气压降低，降到0.5Pa的时候就灭弧了，基底清洗干净了。刚才听说这种现象叫做假起辉，不知道哪位大神有了解，这是什么原因造成的...