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shangji56铜虫 (初入文坛)
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[求助]
【求助】磁控溅射制备Zn薄膜，能起辉，辉光颜色为白色，薄膜不能沉积 已有1人参与
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大家好，最近磁控溅射机械泵坏了很长时间，最近修好之后发现磁控溅射能起辉，辉光颜色为白色，但是溅射之后靶材基本上没变化，衬底基本看不到薄膜。靶材是Zn靶，溅射气体是Ar，衬底是SiO2。 具体沉积参数如下：起辉气压为5Pa，气流为10sccm，功率为100W，反射1-2之间，VPP=0.78；溅射气压为0.6Pa，气流为5sccm，功率为100W，反射1-2之间，VPP降到0.7。VPP一般刚开始溅射时比较高，后来会往下掉一点。 起辉的时候（5Pa）Plasma颜色白中带有紫色，但是当沉积气压为0.6Pa时，颜色基本上是白色了，如下图所示。沉积两个小时之后发现衬底基本上没有东西，用EDS分析有Zn在里面，用万用表量发现完全绝缘，估计有少量薄膜，但是非常薄，靶材基本上没啥变化。能正常起辉，不能溅射或者溅射速率非常小。 请问各位大神，这是什么原因造成的啊。之前用磁控溅射辉光是蓝色的，不知道这为什么是白色的。 谢谢大家。  IMG_0367.JPG |
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 薄膜制备与特性 |
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shangji56
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