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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助关于磁控溅射薄膜
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ls1314521

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助关于磁控溅射薄膜 已有1人参与

磁控溅射所用靶材测XRD生成我需要的BaBiO3.而溅射薄膜经过退火处理却测不出BaBiO3！怎么回事呢？功率密度30W

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1楼 2016-12-19 19:35:28
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caiyazhi

金虫 (小有名气)
靶材成分和沉膜成分是不一样的，会存在偏析，如果粒子能量不够，氧浓度不够就会出现不是目标结晶，而是其它晶体

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浮躁的社会更需要冷静
11楼2017-11-01 22:12:35
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你的意思是没有退火的薄膜能测到XRD，退过火的薄膜测不到XRD？
你没有退火的薄膜XRD信号强不强？退火的薄膜表面是否有挥发现象？
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

ls1314521
2楼2016-12-20 08:06:46
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ls1314521

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-12-20 08:06:46
你的意思是没有退火的薄膜能测到XRD，退过火的薄膜测不到XRD？
你没有退火的薄膜XRD信号强不强？退火的薄膜表面是否有挥发现象？

靶材能测出，而薄膜测不出来BaBiO3成份，不知道怎么回事？

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3楼2016-12-20 08:34:00
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ls1314521 at 2016-12-20 08:34:00
靶材能测出，而薄膜测不出来BaBiO3成份，不知道怎么回事？
...

是不是薄膜太薄了
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4楼2016-12-20 09:03:51
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