| 查看: 1210 | 回复: 10 | ||
Ghostridden新虫 (初入文坛)
|
[求助]
等离子体刻蚀技术中的小疑惑求解 已有2人参与
|
|
|
在半导体等离子体刻蚀技术中，为什么说靠近等离子体的任何东西(应该指的接地的导电物)都会带负电？书上解释是“电子速度快”，但是这个答案我没找到合理的推导关系。求助 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
一志愿厦门大学化学学硕307求调剂
已经有3人回复
-
315分求调剂
已经有4人回复
-
化学调剂一志愿上海交通大学336分-本科上海211
已经有4人回复
-
总分293求调剂
已经有7人回复
-
环境专硕324分求调剂推荐
已经有3人回复
-
284求调剂
已经有3人回复
-
北京林业大学硕导招生广告
已经有6人回复
-
0703化学/290求调剂/本科经历丰富/工科也可
已经有3人回复
-
274求调剂
已经有16人回复
-
一志愿北京化工大学材料与化工（085600）296求调剂
已经有4人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 晶体硅制备的一些ppt
已经有21人回复
- 激光诱导击穿光谱（LIBS）分析技术的几个重要发展趋势（转载）
已经有13人回复
- 中科院深圳先进技术研究院招聘材料相关科研工作者
已经有29人回复
- 中科院深圳先进技术研究院招聘研究人员及博士后
已经有6人回复
- 材料学相关知识汇编
已经有94人回复
- 北方区等离子体刻蚀和沉积设备销售经理
已经有2人回复
- 做等离子体物理的进
已经有1人回复
- 物理所（北京凝聚态物理国家实验室）2011年度科研、技术支撑岗位人才招聘启事
已经有5人回复
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
|
这个和等离子体鞘层有关，你可以看看《等离子体放电原理与材料处理》这本书。 在一些刻蚀工艺中，基板上会施加偏压，偏压对电子运动也是有作用的。 这个就得看具体的工艺了。 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
2楼2016-12-15 13:44:50
jinwencao
木虫 (正式写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 1624.6
- 散金: 100
- 红花: 3
- 帖子: 526
- 在线: 360.7小时
- 虫号: 2488623
- 注册: 2013-05-30
- 性别: GG
- 专业: 气体放电与放电等离子体技
|
我来尝试回答一下。在等离子体中，电子质量小、温度高，所以它的迁移率（miu）和扩散系数（De)要远大于离子。在遇到边界时，由于等离子体浓度梯度的存在，电子和离子都往边界运动（扩散和迁移）。由于电子的De大，跑得比离子快，形成一个电场，指向边界。这样就造成你说的带负电性。详细理论搜索“双极扩散（ambipolar diffusion）”。 发自小木虫Android客户端 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
4楼2016-12-15 22:22:02
Ghostridden
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 112.8
- 红花: 1
- 帖子: 17
- 在线: 4.9小时
- 虫号: 3630489
- 注册: 2015-01-06
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
送红花一朵 |
谢谢回复。书上说鞘层是从辉光现象定义的，因为鞘层中缺少电子，所以激发-松弛碰撞比较少，因此是暗而不发光的区域，称为鞘层。但是缺少电子的原因是因为接近等离子体的东西带负电，同性相斥把电子驱赶到中央去了。因此鞘层是结果，最多是有反馈作用的结果，而不是原因。 我正好有机会问了只和行业的技术副总，他说的理由也是“电子速度快”，也是因为先有鞘层所以电压比周围高，所以靠近的东西带负电。我仍不能理解。 他还说到一个词貌似是“电荷损耗”，说电子跑得快，等离子体又是有限大小，所以电子会有更多损耗。但是我问他是不是意味着等离子体此时是带正点的，他又否认这一点。我依旧糊涂 发自小木虫Android客户端 |
3楼2016-12-15 16:14:26
jinwencao
木虫 (正式写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 1624.6
- 散金: 100
- 红花: 3
- 帖子: 526
- 在线: 360.7小时
- 虫号: 2488623
- 注册: 2013-05-30
- 性别: GG
- 专业: 气体放电与放电等离子体技
5楼2016-12-15 22:24:00
Ghostridden
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 112.8
- 红花: 1
- 帖子: 17
- 在线: 4.9小时
- 虫号: 3630489
- 注册: 2015-01-06
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
6楼2016-12-16 12:03:24
Ghostridden
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 112.8
- 红花: 1
- 帖子: 17
- 在线: 4.9小时
- 虫号: 3630489
- 注册: 2015-01-06
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
7楼2016-12-16 12:05:11
Ghostridden
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 112.8
- 红花: 1
- 帖子: 17
- 在线: 4.9小时
- 虫号: 3630489
- 注册: 2015-01-06
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
8楼2016-12-16 12:07:05
jinwencao
木虫 (正式写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 1624.6
- 散金: 100
- 红花: 3
- 帖子: 526
- 在线: 360.7小时
- 虫号: 2488623
- 注册: 2013-05-30
- 性别: GG
- 专业: 气体放电与放电等离子体技
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Ghostridden: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2016-12-16 18:06:38
感谢参与，应助指数 +1
Ghostridden: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2016-12-16 18:06:38
|
等离子体仍然是准中性，而从等离子体过渡到边界的鞘层是可以这么说的，里面正离子多于负电子。 发自小木虫Android客户端 |
9楼2016-12-16 18:01:14
Ghostridden
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 112.8
- 红花: 1
- 帖子: 17
- 在线: 4.9小时
- 虫号: 3630489
- 注册: 2015-01-06
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
10楼2016-12-16 18:05:17
