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石墨烯样品转移 已有3人参与
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在硅片（其他基材也可以）生长单层石墨烯，然后转移到其他的基材上去，盖如何转移？用什么材料转移 发自小木虫IOS客户端 |
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youthboy0
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6楼2017-03-04 18:36:38
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2楼2016-12-02 23:22:48
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3楼2016-12-12 16:22:33
zdj419438797
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【答案】应助回帖
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本研究中采用湿法转移技术，具体流程如图 所示： a) 从已经制备完成的graphene/Cu切割面积为10mm*5mm的样品，并保持样品表面平整 b) 利用表面旋涂工艺，在BN表面均匀涂覆一层PMMA膜，旋涂机转速设为3500r/min，时间为1min c) 将PMMA/BN/Cu样品置于70℃的恒温烘箱中烘烤10min，然后在130℃烘箱中烘烤20min使PMMA膜固化 d) 将样品放置在FeCl3腐蚀溶液中静置2h左右，直至铜箔完全溶解 e) 将PMMA/G样品置于去离子水中清洗2次，然后将其转移到目标衬底上 f) 将样品放在80℃恒温烘箱中保持10min，然后放在130℃恒温烘箱中保持15min。最后样品放在70℃的丙酮蒸气中保持30min，保证PMMA膜完全溶解。 |
4楼2017-01-16 10:52:20
