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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 等离子体刻蚀
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zhaizihui

新虫 (小有名气)

[求助] 等离子体刻蚀 已有1人参与

请问我想用等离子刻蚀技术，能否推荐一款好用的等离子体刻蚀机？
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

zhaizihui

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1楼 2016-11-21 17:10:10
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by zhaizihui at 2016-11-22 16:16:10
我要对有机膜进行刻蚀 就刻出孔就可以 膜厚度25微米，刻出通孔，孔径几百纳米到2微米之间吧 yswyx

这么大的高宽比，有机膜做不到。啥刻蚀机都没用。

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6楼2016-11-22 19:28:24
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普通回帖

15190052720

新虫 (正式写手)
用我们公司的吧。馗鼎，做等离子16年了，最近在和中科院合作超高真空ICP。

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2楼2016-11-21 19:17:11
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
看你要刻什么材料，刻什么形貌出来，对具体的形貌精度要求。才能判断用哪一种刻蚀机。
你是要做代工还是要购买？
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3楼2016-11-22 14:48:43
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zhaizihui

新虫 (小有名气)
送红花一朵
我要对有机膜进行刻蚀 就刻出孔就可以 膜厚度25微米，刻出通孔，孔径几百纳米到2微米之间吧 @yswyx
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4楼2016-11-22 16:16:10
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zhaizihui

新虫 (小有名气)
内容已删除
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5楼2016-11-22 16:16:49
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15190052720

新虫 (正式写手)
红舟流星: 屏蔽内容, 有广告嫌疑 2017-01-24 23:52:03
本帖内容被屏蔽
7楼2016-11-22 20:57:58
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zhaizihui

新虫 (小有名气)
红舟流星: 屏蔽内容, 请勿留私人联系方式 2017-01-24 23:52:14
本帖内容被屏蔽
8楼2016-11-26 10:39:35
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zhaizihui

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2016-11-22 19:28:24
这么大的高宽比，有机膜做不到。啥刻蚀机都没用。
...

请问为什么什么机器都实现不了呢？
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9楼2016-11-26 10:40:39
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科了个研

铁虫 (小有名气)
SenTecn

发自小木虫IOS客户端
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10楼2016-11-26 11:12:08
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