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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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zhaizihui

新虫 (小有名气)

[求助] 等离子体刻蚀 已有1人参与

请问我想用等离子刻蚀技术,能否推荐一款好用的等离子体刻蚀机?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by zhaizihui at 2016-11-22 16:16:10
我要对有机膜进行刻蚀 就刻出孔就可以 膜厚度25微米,刻出通孔,孔径几百纳米到2微米之间吧 yswyx

这么大的高宽比,有机膜做不到。啥刻蚀机都没用。

发自小木虫Android客户端
6楼2016-11-22 19:28:24
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15190052720

新虫 (正式写手)

用我们公司的吧。馗鼎,做等离子16年了,最近在和中科院合作超高真空ICP。

发自小木虫IOS客户端
2楼2016-11-21 19:17:11
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
看你要刻什么材料,刻什么形貌出来,对具体的形貌精度要求。才能判断用哪一种刻蚀机。
你是要做代工还是要购买?
3楼2016-11-22 14:48:43
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zhaizihui

新虫 (小有名气)

送红花一朵
我要对有机膜进行刻蚀 就刻出孔就可以 膜厚度25微米,刻出通孔,孔径几百纳米到2微米之间吧 @yswyx
4楼2016-11-22 16:16:10
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