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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 等离子体刻蚀
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by zhaizihui at 2016-11-26 10:40:39
请问为什么什么机器都实现不了呢？...

厚度25um，孔最大2um，高宽比大于10，高宽比太大，有机材料做不到那么垂直的刻蚀。硅刻蚀可以，但是也很费劲。
你的有机材料是什么材料？
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11楼2016-11-29 11:03:08
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