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zhaizihui

新虫 (小有名气)

[求助] 等离子体刻蚀已有1人参与

请问我想用等离子刻蚀技术,能否推荐一款好用的等离子体刻蚀机?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
9楼: Originally posted by zhaizihui at 2016-11-26 10:40:39
请问为什么什么机器都实现不了呢?...

厚度25um,孔最大2um,高宽比大于10,高宽比太大,有机材料做不到那么垂直的刻蚀。硅刻蚀可以,但是也很费劲。
你的有机材料是什么材料?
11楼2016-11-29 11:03:08
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15190052720

新虫 (正式写手)

用我们公司的吧。馗鼎,做等离子16年了,最近在和中科院合作超高真空ICP。

发自小木虫IOS客户端
2楼2016-11-21 19:17:11
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
看你要刻什么材料,刻什么形貌出来,对具体的形貌精度要求。才能判断用哪一种刻蚀机。
你是要做代工还是要购买?
3楼2016-11-22 14:48:43
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zhaizihui

新虫 (小有名气)

送红花一朵
我要对有机膜进行刻蚀 就刻出孔就可以 膜厚度25微米,刻出通孔,孔径几百纳米到2微米之间吧 @yswyx
4楼2016-11-22 16:16:10
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