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champione

银虫 (小有名气)

[求助] 射频电极板设计 已有1人参与

请教射频电极板设计如何避免极板尖端放电?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
champione: 金币+10, 有帮助, 我想请教PECVD里面的射频电极板设计,不是关于天线方面的,你有了解这方面的么? 2016-11-23 11:43:12
记得安捷伦有一个专门的微波和射频的电路设计软件。
2楼2016-11-14 16:09:39
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