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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 射频电极板设计
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champione

银虫 (小有名气)

[求助] 射频电极板设计 已有1人参与

请教射频电极板设计如何避免极板尖端放电？
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1楼 2016-11-09 14:22:18
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
champione: 金币+10, ★有帮助, 我想请教PECVD里面的射频电极板设计，不是关于天线方面的，你有了解这方面的么？ 2016-11-23 11:43:12
记得安捷伦有一个专门的微波和射频的电路设计软件。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2016-11-14 16:09:39
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