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射频磁控溅射镀sio2相关问题 已有1人参与
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sio2还没镀过，打算近期开始做，有几个疑问。 1.打算用的参数功率用110w，氩气1pa，靶基距固定是10cm，不知道功率参数选的是否合理，个人感觉不同设备参数会有所区别 2.关心三点问题，一能否沉积，二镀两三个小时会不会容易出现裂靶情况，三沉积速率会达到多少呢？ 新手请大家多多指教，谢谢！ @hwweven 发自小木虫IOS客户端 |
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欧姆007
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3楼2016-11-26 23:28:12
【答案】应助回帖
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我是小混子: 金币+3, ★★★很有帮助 2017-05-07 00:55:26
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1.参数设置可以，肯定能镀上，最佳参数需要摸索。2.靶材是sio2靶材？很有可能会裂。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2016-11-10 07:13:15