| 查看: 757 | 回复: 2 | |||
[求助]
射频磁控溅射镀sio2相关问题 已有1人参与
|
|
sio2还没镀过，打算近期开始做，有几个疑问。 1.打算用的参数功率用110w，氩气1pa，靶基距固定是10cm，不知道功率参数选的是否合理，个人感觉不同设备参数会有所区别 2.关心三点问题，一能否沉积，二镀两三个小时会不会容易出现裂靶情况，三沉积速率会达到多少呢？ 新手请大家多多指教，谢谢！ @hwweven 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
HDPE粒子出现发黄的原因
已经有11人回复
-
太阳能界面蒸发协同发电
已经有2人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有101人回复
-
矿物加工博士申请
已经有1人回复
-
国家级高层次人才低维材料与器件力学团队招收博士研究生
已经有10人回复
-
南开大学杰青团队 招收理论计算方向 2026级博士生
已经有4人回复
-
中国科学院赣江创新研究院水下信息技术中心团队人才招聘
已经有0人回复
-
中国科学院赣江创新研究院水下信息技术中心人才招聘
已经有0人回复
-
求助内蒙古工业大学 代码：811 物理化学 2025年考试真题
已经有0人回复
-
新加坡南洋理工大学招聘博士后（固态电池，固体离子导体，转化正极方向）
已经有15人回复
-
北京工业（211）课题组收博士
已经有0人回复
【答案】应助回帖
★ ★ ★
我是小混子: 金币+3, ★★★很有帮助 2017-05-07 00:55:26
我是小混子: 金币+3, ★★★很有帮助 2017-05-07 00:55:26
|
1.参数设置可以，肯定能镀上，最佳参数需要摸索。2.靶材是sio2靶材？很有可能会裂。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2016-11-10 07:13:15
欧姆007
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3169.8
- 沙发: 1
- 帖子: 143
- 在线: 120小时
- 虫号: 4819765
- 注册: 2016-07-05
- 性别: GG
- 专业: 机器人学及机器人技术
3楼2016-11-26 23:28:12