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Only丶One

铜虫 (小有名气)

[交流] 生长金属钨薄膜的方法 已有2人参与

小弟现在要生长金属钨(W)纳米薄膜,但是用磁控溅射,发现是柱状的多晶钨,中间的有一些缝隙,换句话说生长的薄膜质量不好。
然后想问下,除了磁控溅射技术,还有什么方法能够生长钨薄膜呀,热蒸镀可以吗?或者其他的,要求能够长出晶体质量比较好的致密一点的薄膜。
谢谢各位老师和师兄师姐的指导。
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yangyang8

银虫 (小有名气)

2楼2016-10-31 12:06:54
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快乐的wafer

新虫 (初入文坛)

3楼2016-11-05 19:45:44
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