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Only丶One铜虫 (小有名气)
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[交流]
生长金属钨薄膜的方法 已有2人参与
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小弟现在要生长金属钨（W)纳米薄膜，但是用磁控溅射，发现是柱状的多晶钨，中间的有一些缝隙，换句话说生长的薄膜质量不好。 然后想问下，除了磁控溅射技术，还有什么方法能够生长钨薄膜呀，热蒸镀可以吗？或者其他的，要求能够长出晶体质量比较好的致密一点的薄膜。 谢谢各位老师和师兄师姐的指导。 |
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