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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 生长金属钨薄膜的方法
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Only丶One

铜虫 (小有名气)

[交流] 生长金属钨薄膜的方法 已有2人参与

小弟现在要生长金属钨（W)纳米薄膜，但是用磁控溅射，发现是柱状的多晶钨，中间的有一些缝隙，换句话说生长的薄膜质量不好。
然后想问下，除了磁控溅射技术，还有什么方法能够生长钨薄膜呀，热蒸镀可以吗？或者其他的，要求能够长出晶体质量比较好的致密一点的薄膜。
谢谢各位老师和师兄师姐的指导。
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1楼 2016-10-17 11:08:59
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yangyang8

银虫 (小有名气)
CVD钨
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2楼2016-10-31 12:06:54
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快乐的wafer

新虫 (初入文坛)
蒸发应该可以

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3楼2016-11-05 19:45:44
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