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【求助】溅射中非金属为什么只能用射频溅射法镀膜
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溅射中非金属为什么只能用射频溅射法镀膜？ 有高手能够对照图片解释一下么？？ 谢谢 我就是不明白下面这段话：（不看图觉得说很对，看了图之后总觉得没有道理） 主要是离子堆积问题，比如说直流镀，那么同一种带点离子在电压方向定的时候，只会往同一个方向移动，同时也会中和目标地的电量，这样的话电压就越来越小，直到不能镀膜，如果是金属，可以导出电子，而非金属做不到，只能使用高频电压来加速离子。 |
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