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xiaohunhun

木虫 (著名写手)

珊瑚岛混混,小元家老末

[交流] 【求助】溅射中非金属为什么只能用射频溅射法镀膜

溅射中非金属为什么只能用射频溅射法镀膜?
有高手能够对照图片解释一下么??
谢谢
我就是不明白下面这段话:(不看图觉得说很对,看了图之后总觉得没有道理)

主要是离子堆积问题,比如说直流镀,那么同一种带点离子在电压方向定的时候,只会往同一个方向移动,同时也会中和目标地的电量,这样的话电压就越来越小,直到不能镀膜,如果是金属,可以导出电子,而非金属做不到,只能使用高频电压来加速离子。
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pptang

荣誉版主 (著名写手)

“非金属”,有误,应该是不导电或者导电差的,由于导电性差,电荷积累。射频由于正负极不停变化,不会有这种情况。一般的书本上都有解释。
您的支持,是我的动力!!!
4楼2008-11-26 10:04:35
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xiaohunhun

木虫 (著名写手)

珊瑚岛混混,小元家老末

尤其是没有解释射频到底是怎么作用的
没有说清楚的
那要是离子没有打上靶材上怎么办??
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2楼2008-11-25 21:51:25
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xiaohunhun

木虫 (著名写手)

珊瑚岛混混,小元家老末

使用直流电源,电子方向始终统一,会导致单一种类电荷堆积过高与控制源中和。也就是说用来提供动力的正负极被中和了。然后磁控溅射将不再继续。所以采用脉冲电源。
还有这段话的,其中的主要是怎么中和
中和靶材还是存底,不明白啊??
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3楼2008-11-25 22:02:19
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