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【求助】溅射中非金属为什么只能用射频溅射法镀膜
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溅射中非金属为什么只能用射频溅射法镀膜? 有高手能够对照图片解释一下么?? 谢谢 我就是不明白下面这段话:(不看图觉得说很对,看了图之后总觉得没有道理) 主要是离子堆积问题,比如说直流镀,那么同一种带点离子在电压方向定的时候,只会往同一个方向移动,同时也会中和目标地的电量,这样的话电压就越来越小,直到不能镀膜,如果是金属,可以导出电子,而非金属做不到,只能使用高频电压来加速离子。 |
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xiaohunhun
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2楼2008-11-25 21:51:25
xiaohunhun
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3楼2008-11-25 22:02:19
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4楼2008-11-26 10:04:35














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