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carefu

荣誉版主 (著名写手)

[求助] 在聚合物上镀金属薄膜,该买哪种镀膜机?已有4人参与

现在经常要在各种聚合物膜(PI, PDMS, PTFE, PMMA等)上镀金属膜(金、铂、钛、铜、铝等),镀50~200nm就行。之前一直找外人做,现在老板嫌麻烦,给了40万让买一台设备。我现在不知道该买哪种,要电子束还是磁控溅射的?要求是成膜均匀不易脱落,要国产的就行,麻烦各位指点
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kafeitu

新虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by yswyx at 2016-09-29 15:44:00
肯定是磁控溅射,沈阳的可以,成都南光,中科院微电子所。都可以选择。40万可以让对方按你的要求加配置,比如泵啊,射频源啊,可以选进口的。
话说,你们做完金属化,不做光刻吗?柔性衬底的光刻胶涂敷用的喷胶机没 ...

可以在柔性衬底上直接光刻?

发自小木虫Android客户端
15楼2016-11-20 23:53:21
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