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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 在聚合物上镀金属薄膜，该买哪种镀膜机？
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carefu

荣誉版主 (著名写手)

[求助] 在聚合物上镀金属薄膜，该买哪种镀膜机？ 已有4人参与

现在经常要在各种聚合物膜（PI, PDMS, PTFE, PMMA等）上镀金属膜（金、铂、钛、铜、铝等），镀50~200nm就行。之前一直找外人做，现在老板嫌麻烦，给了40万让买一台设备。我现在不知道该买哪种，要电子束还是磁控溅射的？要求是成膜均匀不易脱落，要国产的就行，麻烦各位指点
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1楼 2016-09-28 14:45:30
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
carefu: 金币+5, ★有帮助 2016-10-13 17:04:32
肯定是磁控溅射，沈阳的可以，成都南光，中科院微电子所。都可以选择。40万可以让对方按你的要求加配置，比如泵啊，射频源啊，可以选进口的。
话说，你们做完金属化，不做光刻吗？柔性衬底的光刻胶涂敷用的喷胶机没有考虑买一台吗？
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9楼2016-09-29 15:44:00
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
carefu: 金币+40 2016-10-13 17:05:18
磁控溅射吧，国产的10几万就可以搞定了
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2楼2016-09-28 16:31:29
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carefu

荣誉版主 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-09-28 16:31:29
磁控溅射吧，国产的10几万就可以搞定了

40万必须花掉，不花就浪费了
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3楼2016-09-28 16:38:22
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by carefu at 2016-09-28 16:38:22
40万必须花掉，不花就浪费了...

知道了，国家基金花不完了，那就多加一些部件么，加个原味测量的什么，什么加个器件要求高点，40万估计能搞一台low一点的ＭＢＥ了。实在不行买些其他设备么，测膜厚的台阶仪啊，和薄膜配套的东西都搞一点，以后也能用上
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4楼2016-09-28 16:46:28
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