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carefu

荣誉版主 (著名写手)

[求助] 在聚合物上镀金属薄膜,该买哪种镀膜机? 已有4人参与

现在经常要在各种聚合物膜(PI, PDMS, PTFE, PMMA等)上镀金属膜(金、铂、钛、铜、铝等),镀50~200nm就行。之前一直找外人做,现在老板嫌麻烦,给了40万让买一台设备。我现在不知道该买哪种,要电子束还是磁控溅射的?要求是成膜均匀不易脱落,要国产的就行,麻烦各位指点
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
carefu: 金币+5, 有帮助 2016-10-13 17:04:32
肯定是磁控溅射,沈阳的可以,成都南光,中科院微电子所。都可以选择。40万可以让对方按你的要求加配置,比如泵啊,射频源啊,可以选进口的。
话说,你们做完金属化,不做光刻吗?柔性衬底的光刻胶涂敷用的喷胶机没有考虑买一台吗?
9楼2016-09-29 15:44:00
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
carefu: 金币+40 2016-10-13 17:05:18
磁控溅射吧,国产的10几万就可以搞定了
2楼2016-09-28 16:31:29
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carefu

荣誉版主 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-09-28 16:31:29
磁控溅射吧,国产的10几万就可以搞定了

40万必须花掉,不花就浪费了
3楼2016-09-28 16:38:22
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by carefu at 2016-09-28 16:38:22
40万必须花掉,不花就浪费了...

知道了,国家基金花不完了,那就多加一些部件么,加个原味测量的什么,什么加个器件要求高点,40万估计能搞一台low一点的MBE了。实在不行买些其他设备么,测膜厚的台阶仪啊,和薄膜配套的东西都搞一点,以后也能用上
4楼2016-09-28 16:46:28
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