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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 直流磁控溅射Ni靶，起辉
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脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)

[求助] 直流磁控溅射Ni靶，起辉 已有1人参与

起辉，工作真空度在45mTorr，大约5Pa，但是溅射40s之后发现在硅基片上没有镀上Ni是怎么回事儿啊？？
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1楼 2016-09-27 14:36:42
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
羽辉有没有打到衬底上？
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2楼2016-09-27 17:20:46
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脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-09-27 17:20:46
羽辉有没有打到衬底上？

应该是没有，所以我想着明天提高一下基底的高度，但是打其他金属都没事儿，为什么Ni会出现这个情况呢？因为磁性么？还有挡板上打到了，但是呈现黑蓝色那种，是不是氧化了？您做的时候工作真空度和溅射电流分别是多少呢？

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3楼2016-09-27 20:29:46
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
这材料早听说诡异了，先让辉光上了基底。延长时间

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4楼2016-09-28 07:05:47
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 脸红喽lhl at 2016-09-27 20:29:46
应该是没有，所以我想着明天提高一下基底的高度，但是打其他金属都没事儿，为什么Ni会出现这个情况呢？因为磁性么？还有挡板上打到了，但是呈现黑蓝色那种，是不是氧化了？您做的时候工作真空度和溅射电流分别是多 ...

我不是做这个的，先让辉光上了基底再说，看看效果
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5楼2016-09-28 08:14:26
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脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by lqm070 at 2016-09-28 07:05:47
这材料早听说诡异了，先让辉光上了基底。延长时间

嗯嗯，我试试

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6楼2016-09-28 12:18:26
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脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-09-28 08:14:26
我不是做这个的，先让辉光上了基底再说，看看效果...

嗯嗯，我试试

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7楼2016-09-28 12:18:36
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