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汕头大学海洋科学接受调剂
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boyshen

至尊木虫 (正式写手)

[求助] 各种CVD方法的原理及应用{截止11月24日}

请教各种CVD方法的原理,最好细化分类,如热丝CVD,PEcvd,低温CVD,超真空CVD等方法的大致原理,尽量介绍些比较新的CVD方法的原理和应用。可以给相关网址,书籍链接,PPT等都可以,谢谢

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shichunyan82

金虫 (小有名气)

定义
  化学气相沉积(Chemical vapor deposition,简称CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应,生成固态物质沉积在加热的固态基体表面,进而制得固体材料的工艺技术。它本质上属于原子范畴的气态传质过程。与之相对的是物理气相沉积(PVD)。
[编辑本段]应用
  现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料,这些功能材料必须是高纯的,或者是在高纯材料中有意地掺人某种杂质形成的掺杂材料。但是,我们过去所熟悉的许多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求,也难以保证得到高纯度的产品。因此,无机新材料的合成就成为现代材料科学中的主要课题。
  化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态天机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物,也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物,而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。目前,化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域
2楼2008-11-23 10:50:09
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shichunyan82

金虫 (小有名气)

3楼2008-11-23 10:52:23
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wangysh520

4楼2008-11-23 12:50:26
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