24小时热门版块排行榜

返回列表

当前主题已经存档。

【悬赏金币】回答本帖问题，作者boyshen将赠送您 9 个金币

boyshen

至尊木虫 (正式写手)

应助: 26 (小学生)
金币: 12466.7
散金: 230
红花: 2
帖子: 722
在线: 553.6小时
虫号: 581364
注册: 2008-07-18
专业: 无机非金属类光电信息与功

[求助] 各种CVD方法的原理及应用{截止11月24日}

请教各种CVD方法的原理，最好细化分类，如热丝CVD，PEcvd，低温CVD，超真空CVD等方法的大致原理，尽量介绍些比较新的CVD方法的原理和应用。可以给相关网址，书籍链接，PPT等都可以，谢谢

回复此楼

» 猜你喜欢

1楼 2008-11-22 22:54:18

已阅关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

shichunyan82

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 802
红花: 1
帖子: 200
在线: 4.2小时
虫号: 365804
注册: 2007-05-09
性别: MM
专业: 材料学

定义
　　化学气相沉积(Chemical vapor deposition，简称CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，进而制得固体材料的工艺技术。它本质上属于原子范畴的气态传质过程。与之相对的是物理气相沉积（PVD）。
[编辑本段]应用
　　现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料，这些功能材料必须是高纯的，或者是在高纯材料中有意地掺人某种杂质形成的掺杂材料。但是，我们过去所熟悉的许多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求，也难以保证得到高纯度的产品。因此，无机新材料的合成就成为现代材料科学中的主要课题。
　　化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态天机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域