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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 薄膜厚度方向的元素表征
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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我是益虫

金虫 (正式写手)

[交流] 薄膜厚度方向的元素表征

镀了一层约100nm厚的薄膜，想测试一下，在薄膜厚度方向的元素分布情况。打算用EDS分析，不知道能不能实现？
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1楼 2016-09-22 21:16:48
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

kangye_1989

木虫 (著名写手)
★ ★ ★
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我是益虫: 金币+2 2016-09-23 16:58:36
引用回帖:
4楼: Originally posted by 我是益虫 at 2016-09-23 12:26:41
线扫描是在表面上扫描可以吗？或者是要做成断面去扫厚度方向？...

你可以在截面上扫描的，
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5楼2016-09-23 13:44:04
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纳米材料753

木虫之王 (文学泰斗)

光岳之巅
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
应该是可以的的   用SEM的EDX就可以
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进取……永无止境！
6楼2016-09-23 13:51:35
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no251-1

金虫 (正式写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我是益虫: 金币+1 2016-09-23 19:42:25
掰开了做断面，或者做FIB

发自小木虫Android客户端
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8楼2016-09-23 19:30:27
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milan7028

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
XPS应该也可以，轰击打掉一点测一点，不过时间可能久一点
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感谢挫折，你们使我更强大
17楼2016-10-17 16:17:53
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milan7028

铜虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★
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我是益虫: 金币+3 2016-10-18 17:06:37
引用回帖:
18楼: Originally posted by 我是益虫 at 2016-10-17 17:00:48
你的意思是用XPS，从表面一点一点往下面测试吗？...

是的，元素种类和价态都可以测出来，所以在纵向上不同深度的位置处元素种类价态可以观测到，一般XPS轰击的话一次应该是打掉几个纳米，不用担心一下子把薄膜打没了
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感谢挫折，你们使我更强大
19楼2016-10-18 09:59:36
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普通回帖

dsctg
2楼2016-09-22 21:17:05
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
能谱有个线扫描，不知你们的那台能不能做
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3楼2016-09-23 10:40:59
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我是益虫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-09-23 10:40:59
能谱有个线扫描，不知你们的那台能不能做

线扫描是在表面上扫描可以吗？或者是要做成断面去扫厚度方向？
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4楼2016-09-23 12:26:41
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gengxin60
祝福
7楼2016-09-23 14:02:37
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我是益虫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by no251-1 at 2016-09-23 19:30:27
掰开了做断面，或者做FIB

FIB?我们这边没有这种设备哦
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9楼2016-09-23 19:42:58
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zjf江湖笑

金虫 (小有名气)
SEM，截面，可以吧
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10楼2016-09-24 12:01:24
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