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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 薄膜厚度方向的元素表征
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liuchunhua华

木虫 (著名写手)

小妖
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我是益虫: 金币+2 2016-09-25 09:56:52
在什么材料表面镀的呢？镀的膜脆性怎么样呢？我知道的一些在金属表面做氧化物膜的，一般都是封装在树脂里面，然后打磨抛光一个截面出来，这样可以sem下edx做厚度方向的线扫描，就可以得出厚度方向的元素分布曲线了。

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没个性签名
11楼2016-09-24 23:44:21
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eloasankey

金虫 (小有名气)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我是益虫: 金币+1 2016-09-25 09:57:19
做成截面，TEM或SEM的线扫面扫都行

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12楼2016-09-25 09:15:44
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我是益虫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by liuchunhua华 at 2016-09-24 23:44:21
在什么材料表面镀的呢？镀的膜脆性怎么样呢？我知道的一些在金属表面做氧化物膜的，一般都是封装在树脂里面，然后打磨抛光一个截面出来，这样可以sem下edx做厚度方向的线扫描，就可以得出厚度方向的元素分布曲线了。 ...

我是在玻璃基底上面镀的硒化锌薄膜，发现要做断面，好像不太容易做。镀好了之后再去切割，容易损坏膜层.....你们是直接切割还是用其他的工具弄断的？
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13楼2016-09-25 09:56:44
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我是益虫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by eloasankey at 2016-09-25 09:15:44
做成截面，TEM或SEM的线扫面扫都行

感觉截面不好做啊？
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14楼2016-09-25 09:57:15
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liuchunhua华

木虫 (著名写手)

小妖
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
13楼: Originally posted by 我是益虫 at 2016-09-25 09:56:44
我是在玻璃基底上面镀的硒化锌薄膜，发现要做断面，好像不太容易做。镀好了之后再去切割，容易损坏膜层.....你们是直接切割还是用其他的工具弄断的？...

样品多大尺寸呢？是载玻片吗？载玻片的话可以试试液氮冷冻后掰断，冷冻之前在反面用玻璃刀划条痕迹。但是如果膜比较脆，不知道能不能获得好的断面，感觉可以试一试。之前说的金属氧化物涂层，他们的样品一般是直径1-2cm的圆片，直接把样品用环氧树脂封装，然后在用于金相试样制备的那种磨抛机（就是那种安装砂纸，旋转打磨的）上面打磨然后抛光，得到截面，再去sem。这种制样方法，打磨和抛光的技术也要比较高，才能容易获得好的截面。

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我是益虫
没个性签名
15楼2016-09-25 12:03:27
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我是益虫

金虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
15楼: Originally posted by liuchunhua华 at 2016-09-25 12:03:27
样品多大尺寸呢？是载玻片吗？载玻片的话可以试试液氮冷冻后掰断，冷冻之前在反面用玻璃刀划条痕迹。但是如果膜比较脆，不知道能不能获得好的断面，感觉可以试一试。之前说的金属氧化物涂层，他们的样品一般是直径 ...

就是在载玻片上面制备的，薄膜比较脆，应该可以做，我用液氮试一下看效果怎么样。

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16楼2016-09-25 12:21:13
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milan7028

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
XPS应该也可以，轰击打掉一点测一点，不过时间可能久一点
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感谢挫折，你们使我更强大
17楼2016-10-17 16:17:53
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我是益虫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
17楼: Originally posted by milan7028 at 2016-10-17 16:17:53
XPS应该也可以，轰击打掉一点测一点，不过时间可能久一点

你的意思是用XPS，从表面一点一点往下面测试吗？
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18楼2016-10-17 17:00:48
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milan7028

铜虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我是益虫: 金币+3 2016-10-18 17:06:37
引用回帖:
18楼: Originally posted by 我是益虫 at 2016-10-17 17:00:48
你的意思是用XPS，从表面一点一点往下面测试吗？...

是的，元素种类和价态都可以测出来，所以在纵向上不同深度的位置处元素种类价态可以观测到，一般XPS轰击的话一次应该是打掉几个纳米，不用担心一下子把薄膜打没了
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感谢挫折，你们使我更强大
19楼2016-10-18 09:59:36
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我是益虫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
19楼: Originally posted by milan7028 at 2016-10-18 09:59:36
是的，元素种类和价态都可以测出来，所以在纵向上不同深度的位置处元素种类价态可以观测到，一般XPS轰击的话一次应该是打掉几个纳米，不用担心一下子把薄膜打没了...

价态是直接测出来的吗，还是测完需要后期处理一下？
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20楼2016-10-18 17:06:22
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