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我是益虫

金虫 (正式写手)

[交流] 薄膜厚度方向的元素表征

镀了一层约100nm厚的薄膜,想测试一下,在薄膜厚度方向的元素分布情况。打算用EDS分析,不知道能不能实现?
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我是益虫

金虫 (正式写手)

引用回帖:
19楼: Originally posted by milan7028 at 2016-10-18 09:59:36
是的,元素种类和价态都可以测出来,所以在纵向上不同深度的位置处元素种类价态可以观测到,一般XPS轰击的话一次应该是打掉几个纳米,不用担心一下子把薄膜打没了...

价态是直接测出来的吗,还是测完需要后期处理一下?
20楼2016-10-18 17:06:22
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2楼2016-09-22 21:17:05
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kangye_1989

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
能谱有个线扫描,不知你们的那台能不能做
3楼2016-09-23 10:40:59
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我是益虫

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-09-23 10:40:59
能谱有个线扫描,不知你们的那台能不能做

线扫描是在表面上扫描可以吗?或者是要做成断面去扫厚度方向?
4楼2016-09-23 12:26:41
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