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薄膜厚度方向的元素表征
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| 镀了一层约100nm厚的薄膜,想测试一下,在薄膜厚度方向的元素分布情况。打算用EDS分析,不知道能不能实现? |
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样品多大尺寸呢?是载玻片吗?载玻片的话可以试试液氮冷冻后掰断,冷冻之前在反面用玻璃刀划条痕迹。但是如果膜比较脆,不知道能不能获得好的断面,感觉可以试一试。之前说的金属氧化物涂层,他们的样品一般是直径1-2cm的圆片,直接把样品用环氧树脂封装,然后在用于金相试样制备的那种磨抛机(就是那种安装砂纸,旋转打磨的)上面打磨然后抛光,得到截面,再去sem。这种制样方法,打磨和抛光的技术也要比较高,才能容易获得好的截面。 发自小木虫Android客户端 |

15楼2016-09-25 12:03:27
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2楼2016-09-22 21:17:05
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