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我是益虫

金虫 (正式写手)

[交流] 薄膜厚度方向的元素表征

镀了一层约100nm厚的薄膜,想测试一下,在薄膜厚度方向的元素分布情况。打算用EDS分析,不知道能不能实现?
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liuchunhua华

木虫 (著名写手)

小妖


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
13楼: Originally posted by 我是益虫 at 2016-09-25 09:56:44
我是在玻璃基底上面镀的硒化锌薄膜,发现要做断面,好像不太容易做。镀好了之后再去切割,容易损坏膜层.....你们是直接切割还是用其他的工具弄断的?...

样品多大尺寸呢?是载玻片吗?载玻片的话可以试试液氮冷冻后掰断,冷冻之前在反面用玻璃刀划条痕迹。但是如果膜比较脆,不知道能不能获得好的断面,感觉可以试一试。之前说的金属氧化物涂层,他们的样品一般是直径1-2cm的圆片,直接把样品用环氧树脂封装,然后在用于金相试样制备的那种磨抛机(就是那种安装砂纸,旋转打磨的)上面打磨然后抛光,得到截面,再去sem。这种制样方法,打磨和抛光的技术也要比较高,才能容易获得好的截面。

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15楼2016-09-25 12:03:27
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2楼2016-09-22 21:17:05
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kangye_1989

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
能谱有个线扫描,不知你们的那台能不能做
3楼2016-09-23 10:40:59
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我是益虫

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-09-23 10:40:59
能谱有个线扫描,不知你们的那台能不能做

线扫描是在表面上扫描可以吗?或者是要做成断面去扫厚度方向?
4楼2016-09-23 12:26:41
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