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等离子清洗机清洗Si基片镀的Pt膜之后，膜厚没有减薄，反而增加，为什么？？？ 已有2人参与
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| 等离子清洗机清洗Si基片镀的Pt膜之后，膜厚反而增加了1-2nm，原来膜厚在42nm左右，清洗时间为15min和30min，这是为什么？望大神回复！ |
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 溅射和蒸镀简介 |
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