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等离子清洗机清洗Si基片镀的Pt膜之后,膜厚没有减薄,反而增加,为什么??? 已有2人参与
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| 等离子清洗机清洗Si基片镀的Pt膜之后,膜厚反而增加了1-2nm,原来膜厚在42nm左右,清洗时间为15min和30min,这是为什么?望大神回复! |
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2楼2016-09-07 11:01:14
3楼2016-09-07 11:08:20

4楼2016-09-07 11:13:17
水中日记
铁杆木虫 (正式写手)
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5楼2016-09-07 17:01:20










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