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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 等离子清洗机清洗Si基片镀的Pt膜之后，膜厚没有减薄，反而增加，为什么？？？
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脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)

[求助] 等离子清洗机清洗Si基片镀的Pt膜之后，膜厚没有减薄，反而增加，为什么？？？ 已有2人参与

等离子清洗机清洗Si基片镀的Pt膜之后，膜厚反而增加了1-2nm，原来膜厚在42nm左右，清洗时间为15min和30min，这是为什么？望大神回复！
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1楼 2016-09-02 16:42:09
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东东那个东

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

腔体干净吗？
离法兰近了？
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头疼
2楼2016-09-07 11:01:14
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脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 东东那个东 at 2016-09-07 11:01:14
腔体干净吗？
离法兰近了？

东哥哥，你是来拿金币的么。。。。

发自小木虫IOS客户端
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3楼2016-09-07 11:08:20
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东东那个东

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 脸红喽lhl at 2016-09-07 11:08:20
东哥哥，你是来拿金币的么。。。。
...

路过路过
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头疼
4楼2016-09-07 11:13:17
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水中日记

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

做之前分析天平称重，如果厚度，重量都增加，说明真空环境不良，部分氧化。

nm级的膜厚测量有误差，多少依设备而定，无法判断。
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2016-09-07 17:01:20
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