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melody270

[交流] 传说中的硅(200)峰,晕晕

theta-2theta mode 的xrd,Si 薄膜基底中出现的了传说中应该是forbidden peak的(200)峰,而且是很sharp很明显的,而且不是所有的样品都有~

我的薄膜厚度不一样,用theta-2theta mode,这个会导致有的时候可以照到基底,有时候不行,这个可以解释为什么不是所有的样品都有(200)峰;但是为什么有(200)峰?我解释的是因为薄膜造成了基底里有stress, 但是审稿人说是我的样品没放平,可是200是forbidden peak啊,就算放不平也不应该出现才对。审稿人还要我去做rocking curve来看看,我们的破机器根本不能做rocking curve嘛 (一篇小paper,老板说你自己解释吧,不用那么麻烦

哪位同学有经验的,来说说吧~
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melody270

找到了:

Calculation and measurement of all (002) multiple diffraction peaks from a (001) silicon wafer,B.-H. Hwang, Journal of Physics D: Applied Physics, vol. 34, pp. 2469–2474, 2001

是因为sample没放平,审稿人是对的
3楼2008-11-18 18:02:25
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melody270

warlen(金币+0,VIP+0):真心请教,并不一定非要送金币的,呵呵,加油啊,欢迎常来!
发现我没钱送金币。。。。。
2楼2008-11-18 12:30:30
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