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传说中的硅(200)峰,晕晕
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theta-2theta mode 的xrd,Si 薄膜基底中出现的了传说中应该是forbidden peak的(200)峰,而且是很sharp很明显的,而且不是所有的样品都有~ 我的薄膜厚度不一样,用theta-2theta mode,这个会导致有的时候可以照到基底,有时候不行,这个可以解释为什么不是所有的样品都有(200)峰;但是为什么有(200)峰?我解释的是因为薄膜造成了基底里有stress, 但是审稿人说是我的样品没放平,可是200是forbidden peak啊,就算放不平也不应该出现才对。审稿人还要我去做rocking curve来看看,我们的破机器根本不能做rocking curve嘛 (一篇小paper,老板说你自己解释吧,不用那么麻烦 )哪位同学有经验的,来说说吧~ ![]() |
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