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纳米线器件制备已有1人参与
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各位大虾，在下近读一篇文章，看到一个纵向的纳米线器件如下图所示（附论文），对于其中工艺步骤有些不明白 ，而文章并无明确阐述。在下一向做理论工作，没有做过实验，所以对于工艺如同文盲，望各位赐教！  疑问： 1. 纳米线侧面的栅介质和栅金属是如何生长上去的？ 2.如何保证在生长栅介质和金属的时候保证InAs NW上不生长介质与金属？  |
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2016-08-27 13:51:31, 1.94 M
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