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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 化工设备 » 工业炉 » 请问化学气相沉积法的设备除了用管式炉还可以用什么设备替换？
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yusukeyy

金虫 (小有名气)

[求助] 请问化学气相沉积法的设备除了用管式炉还可以用什么设备替换？ 已有2人参与

请问化学气相沉积法的设备除了用管式炉还可以用什么设备替换？
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1楼 2016-08-19 17:00:40
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yusukeyy

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 翰军 at 2016-08-22 14:32:12
CVD设备是统称，不止管式炉，学校用的管式炉比较多，成本低。

论文中如果写到应该说CVD设备还是管式炉呢？
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5楼2016-08-23 08:03:09
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普通回帖

lizhi0926

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
还有专用来沉积的设备
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2楼2016-08-22 10:40:15
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翰军

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
yusukeyy: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2016-08-23 10:21:32
CVD设备是统称，不止管式炉，学校用的管式炉比较多，成本低。
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3楼2016-08-22 14:32:12
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yuzhi6

铁虫 (初入文坛)
PECVD有没有试过
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魔飘
4楼2016-08-22 16:57:52
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翰军

银虫 (知名作家)
还有进气，真空，一般都是指整套设备，而不是单一的管式炉

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6楼2016-08-23 08:20:48
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yusukeyy

金虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 翰军 at 2016-08-23 08:20:48
还有进气，真空，一般都是指整套设备，而不是单一的管式炉

哦哦，明白了。像这种成套的CVD设备，可以实现工业化吗？
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7楼2016-08-23 09:17:52
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翰军

银虫 (知名作家)
工业生产也有，但都是高精端的，民用玩不起，

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8楼2016-08-23 09:19:43
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yusukeyy

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 翰军 at 2016-08-23 09:19:43
工业生产也有，但都是高精端的，民用玩不起，

管式炉就那么大点，工业化的话可以定制大的吗？还是其他CVD设备有那种可以批量生产的大型设备？
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9楼2016-08-23 09:54:08
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翰军

银虫 (知名作家)
管径可以扩大的，有一些CVD方法量产的，产能不高

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yusukeyy
10楼2016-08-23 09:56:52
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