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yusukeyy

金虫 (小有名气)

[求助] 请问化学气相沉积法的设备除了用管式炉还可以用什么设备替换? 已有2人参与

请问化学气相沉积法的设备除了用管式炉还可以用什么设备替换?
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yusukeyy

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 翰军 at 2016-08-22 14:32:12
CVD设备是统称,不止管式炉,学校用的管式炉比较多,成本低。

论文中如果写到应该说CVD设备还是管式炉呢?
5楼2016-08-23 08:03:09
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普通回帖

lizhi0926

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
还有专用来沉积的设备
2楼2016-08-22 10:40:15
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翰军

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
yusukeyy: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2016-08-23 10:21:32
CVD设备是统称,不止管式炉,学校用的管式炉比较多,成本低。
3楼2016-08-22 14:32:12
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yuzhi6

铁虫 (初入文坛)

PECVD有没有试过
魔飘
4楼2016-08-22 16:57:52
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翰军

银虫 (知名作家)


还有进气,真空,一般都是指整套设备,而不是单一的管式炉

发自小木虫IOS客户端
6楼2016-08-23 08:20:48
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yusukeyy

金虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 翰军 at 2016-08-23 08:20:48
还有进气,真空,一般都是指整套设备,而不是单一的管式炉

哦哦,明白了。像这种成套的CVD设备,可以实现工业化吗?
7楼2016-08-23 09:17:52
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翰军

银虫 (知名作家)


工业生产也有,但都是高精端的,民用玩不起,

发自小木虫IOS客户端
8楼2016-08-23 09:19:43
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yusukeyy

金虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 翰军 at 2016-08-23 09:19:43
工业生产也有,但都是高精端的,民用玩不起,

管式炉就那么大点,工业化的话可以定制大的吗?还是其他CVD设备有那种可以批量生产的大型设备?
9楼2016-08-23 09:54:08
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翰军

银虫 (知名作家)


管径可以扩大的,有一些CVD方法量产的,产能不高

发自小木虫IOS客户端

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10楼2016-08-23 09:56:52
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