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yusukeyy

金虫 (小有名气)

[求助] 请问化学气相沉积法的设备除了用管式炉还可以用什么设备替换? 已有2人参与

请问化学气相沉积法的设备除了用管式炉还可以用什么设备替换?
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翰军

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
yusukeyy: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2016-08-23 10:21:32
CVD设备是统称,不止管式炉,学校用的管式炉比较多,成本低。
3楼2016-08-22 14:32:12
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lizhi0926

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
还有专用来沉积的设备
2楼2016-08-22 10:40:15
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yusukeyy

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 翰军 at 2016-08-22 14:32:12
CVD设备是统称,不止管式炉,学校用的管式炉比较多,成本低。

论文中如果写到应该说CVD设备还是管式炉呢?
5楼2016-08-23 08:03:09
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翰军

银虫 (知名作家)


还有进气,真空,一般都是指整套设备,而不是单一的管式炉

发自小木虫IOS客户端
6楼2016-08-23 08:20:48
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