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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 化工设备 » 工业炉 » 请问化学气相沉积法的设备除了用管式炉还可以用什么设备替换？
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yusukeyy

金虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
10楼: Originally posted by 翰军 at 2016-08-23 09:56:52
管径可以扩大的，有一些CVD方法量产的，产能不高

非常感谢!
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11楼2016-08-23 10:21:16
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上海翔研

新虫 (初入文坛)
碳管炉可以代替
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12楼2016-08-24 12:26:29
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yusukeyy

金虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by 上海翔研 at 2016-08-24 12:26:29
碳管炉可以代替

碳管炉和管式炉有什么不同吗 ？碳管炉是真空密闭的吗？
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13楼2016-08-25 08:26:17
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