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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 阳极键合背面清洁度还很重要啊！
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五月帝

新虫 (初入文坛)

[交流] 阳极键合背面清洁度还很重要啊！

为了做个阳极键合我大热天从武汉跑到了苏州纳米所，结果白跑一趟。。。。哭死了，回去咋交代啊。。。主要原因是我的硅片之前已经安装在了实验段上，背面涂了导热硅脂，之后才发现有必要做键合，结果导热硅脂那个鬼东西洗不掉，也不溶于有机溶剂，洗了多少次还是能看出来有，纳米所的老师拿到样品后直接说影响导电，而且会污染仪器，不给做，傻眼啊！！！！！！完全没有想到啊！！！！！以为正面能清洗干净就行呢。。。。有同学有经验吗

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1楼2016-08-01 18:41:51
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zhaoqinqin

新虫 (初入文坛)
★
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楼主在做阳极键合吗？想请教几个玻璃-硅片键合的问题。温度，电压，压力大概多大呀？必须真空环境吗？键合设备大概是什么样的呀？
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19楼2016-10-27 16:25:11
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五月帝

新虫 (初入文坛)
尼玛抢红包这么赤裸裸吗！以为能吸引来更多交流经验的呢

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14楼2016-08-01 20:30:03
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