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阳极键合背面清洁度还很重要啊!
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为了做个阳极键合我大热天从武汉跑到了苏州纳米所,结果白跑一趟。。。。哭死了,回去咋交代啊。。。主要原因是我的硅片之前已经安装在了实验段上,背面涂了导热硅脂,之后才发现有必要做键合,结果导热硅脂那个鬼东西洗不掉,也不溶于有机溶剂,洗了多少次还是能看出来有,纳米所的老师拿到样品后直接说影响导电,而且会污染仪器,不给做,傻眼啊!!!!!!完全没有想到啊!!!!!以为正面能清洗干净就行呢。。。。有同学有经验吗 发自小木虫Android客户端 |
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