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阳极键合背面清洁度还很重要啊！
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为了做个阳极键合我大热天从武汉跑到了苏州纳米所，结果白跑一趟。。。。哭死了，回去咋交代啊。。。主要原因是我的硅片之前已经安装在了实验段上，背面涂了导热硅脂，之后才发现有必要做键合，结果导热硅脂那个鬼东西洗不掉，也不溶于有机溶剂，洗了多少次还是能看出来有，纳米所的老师拿到样品后直接说影响导电，而且会污染仪器，不给做，傻眼啊！！！！！！完全没有想到啊！！！！！以为正面能清洗干净就行呢。。。。有同学有经验吗 发自小木虫Android客户端 |
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14楼2016-08-01 20:30:03
15楼2016-08-02 08:00:25
16楼2016-08-02 10:44:04
17楼2016-08-02 15:36:12
yswyx 
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18楼2016-08-03 12:44:25
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2016-08-01 18:48
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shipengju1010楼
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