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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 阳极键合背面清洁度还很重要啊！
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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五月帝

新虫 (初入文坛)

[交流] 阳极键合背面清洁度还很重要啊！

为了做个阳极键合我大热天从武汉跑到了苏州纳米所，结果白跑一趟。。。。哭死了，回去咋交代啊。。。主要原因是我的硅片之前已经安装在了实验段上，背面涂了导热硅脂，之后才发现有必要做键合，结果导热硅脂那个鬼东西洗不掉，也不溶于有机溶剂，洗了多少次还是能看出来有，纳米所的老师拿到样品后直接说影响导电，而且会污染仪器，不给做，傻眼啊！！！！！！完全没有想到啊！！！！！以为正面能清洗干净就行呢。。。。有同学有经验吗

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1楼 2016-08-01 18:41:51
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五月帝

新虫 (初入文坛)
尼玛抢红包这么赤裸裸吗！以为能吸引来更多交流经验的呢

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14楼2016-08-01 20:30:03
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)
★
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泡到丙酮里超声吧
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15楼2016-08-02 08:00:25
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五月帝

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
15楼: Originally posted by reninhat at 2016-08-02 08:00:25
泡到丙酮里超声吧

他们好像就是这样洗的，洗不掉。。。我也进不去他们超净间

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16楼2016-08-02 10:44:04
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盟维科技

捐助贵宾 (小有名气)
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联系方式留下啊
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17楼2016-08-02 15:36:12
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
确实会污染机器，因为要加热到三百度以上，硅脂化掉或者分解对设备都有影响。
如果你还在纳米所的话，去B栋705，我们帮你想想办法。
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18楼2016-08-03 12:44:25
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zhaoqinqin

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主在做阳极键合吗？想请教几个玻璃-硅片键合的问题。温度，电压，压力大概多大呀？必须真空环境吗？键合设备大概是什么样的呀？
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19楼2016-10-27 16:25:11
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五月帝

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
19楼: Originally posted by zhaoqinqin at 2016-10-27 16:25:11
楼主在做阳极键合吗？想请教几个玻璃-硅片键合的问题。温度，电压，压力大概多大呀？必须真空环境吗？键合设备大概是什么样的呀？

我是外行啊，只能找专业的加工~你问下楼上吧

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20楼2016-11-17 10:29:09
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shipengju102楼
2016-08-01 18:48   回复  
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shipengju103楼
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shipengju106楼
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shipengju107楼
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tzynew9楼
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tzynew11楼
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shipengju1012楼
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tzynew13楼
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