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阳极键合背面清洁度还很重要啊!
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五月帝
新虫
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虫号: 3202691
[交流]
阳极键合背面清洁度还很重要啊!
为了做个阳极键合我大热天从武汉跑到了苏州纳米所,结果白跑一趟。。。。哭死了,回去咋交代啊。。。主要原因是我的硅片之前已经安装在了实验段上,背面涂了导热硅脂,之后才发现有必要做键合,结果导热硅脂那个鬼东西洗不掉,也不溶于有机溶剂,洗了多少次还是能看出来有,纳米所的老师拿到样品后直接说影响导电,而且会污染仪器,不给做,傻眼啊!!!!!!完全没有想到啊!!!!!以为正面能清洗干净就行呢。。。。有同学有经验吗
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2016-08-01 18:41:51
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五月帝
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虫号: 3202691
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15楼
:
Originally posted by
reninhat
at 2016-08-02 08:00:25
泡到丙酮里超声吧
他们好像就是这样洗的,洗不掉。。。我也进不去他们超净间
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16楼
2016-08-02 10:44:04
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五月帝
新虫
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虫号: 3202691
尼玛抢红包这么赤裸裸吗!以为能吸引来更多交流经验的呢
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14楼
2016-08-01 20:30:03
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