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kevin123581

金虫 (正式写手)

[交流] ITO和ZnO薄膜的方阻问题

最近自己尝试了ITO和ZnO的PLD 镀膜
ITO 透射能够达到80-85%以上, ZnO90%以上
但是方阻问题貌似比较大
ITO薄膜100nm左右测量出来方阻都在20千欧左右,
看别人论文上都是只有100左右的样子
我镀膜条件是500摄氏度, 只通氧气100sccm
是氧气过多造成的么?
氧化锌貌似方阻也差不多的样子,也是很高


谢谢
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kevin123581

金虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by minglight9 at 2016-07-30 14:20:07
溅射功率不要那么大,通氧量不要超10%,如果还不行,就要换靶材了。
...

请问下,这个10%是氧气占腔体体积的10%吗?
功率这个问题我确实也注意到了,功率大的时候黑得多,低的时候透射也高一些
就是低功率不大好控制,肉眼经常看不到羽辉,我再尝试下, 谢谢

对了,还有个问题请教下,目前我用的激光沉积镀膜是没有通Ar的,只是在腔体抽成真空后,
在开始沉积的时候开始通入一定量氧气,玻璃基片有加热,沉积结束就把氧气停了,然后在真空中自然退火降温


对于我没有加Ar会有影响么? 因为我看其他的沉积方式都有用混合气体Ar+O2,但是他们的氩气要用来轰击靶材料
而激光沉积应该不用这个。所以想请教下


谢谢
9楼2016-07-30 14:47:45
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xiangyunone

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
通氧气应该会降低薄膜的方块电阻吧  我做过AZO中通氧气 方块电阻比不通氧气时高很多。可能是因为氧空位少了
2楼2016-07-26 11:08:33
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kevin123581

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by xiangyunone at 2016-07-26 11:08:33
通氧气应该会降低薄膜的方块电阻吧  我做过AZO中通氧气 方块电阻比不通氧气时高很多。可能是因为氧空位少了

恩,我也这么猜想。但是不通氧薄膜的透射很低就是了,谢谢

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

3楼2016-07-26 12:15:17
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再见理想35

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by kevin123581 at 2016-07-26 12:15:17
恩,我也这么猜想。但是不通氧薄膜的透射很低就是了,谢谢...

能做的85%,就不错了
4楼2016-07-28 08:22:45
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