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kevin123581

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[交流] ITO和ZnO薄膜的方阻问题

最近自己尝试了ITO和ZnO的PLD 镀膜
ITO 透射能够达到80-85%以上， ZnO90%以上
但是方阻问题貌似比较大
ITO薄膜100nm左右测量出来方阻都在20千欧左右，
看别人论文上都是只有100左右的样子
我镀膜条件是500摄氏度，只通氧气100sccm
是氧气过多造成的么？
氧化锌貌似方阻也差不多的样子，也是很高

谢谢

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1楼 2016-07-25 11:40:33

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kevin123581

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引用回帖:

8楼: Originally posted by minglight9 at 2016-07-30 14:20:07
溅射功率不要那么大，通氧量不要超10%，如果还不行，就要换靶材了。
...

请问下，这个10%是氧气占腔体体积的10%吗？
功率这个问题我确实也注意到了，功率大的时候黑得多，低的时候透射也高一些
就是低功率不大好控制，肉眼经常看不到羽辉，我再尝试下，谢谢

对了，还有个问题请教下，目前我用的激光沉积镀膜是没有通Ar的，只是在腔体抽成真空后，
在开始沉积的时候开始通入一定量氧气，玻璃基片有加热，沉积结束就把氧气停了，然后在真空中自然退火降温

对于我没有加Ar会有影响么？因为我看其他的沉积方式都有用混合气体Ar+O2，但是他们的氩气要用来轰击靶材料
而激光沉积应该不用这个。所以想请教下

谢谢