应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » ITO和ZnO薄膜的方阻问题
51/1返回列表
查看: 2955  |  回复: 19
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)

[交流] ITO和ZnO薄膜的方阻问题

最近自己尝试了ITO和ZnO的PLD 镀膜
ITO 透射能够达到80-85%以上， ZnO90%以上
但是方阻问题貌似比较大
ITO薄膜100nm左右测量出来方阻都在20千欧左右，
看别人论文上都是只有100左右的样子
我镀膜条件是500摄氏度， 只通氧气100sccm
是氧气过多造成的么？
氧化锌貌似方阻也差不多的样子，也是很高


谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2016-07-25 11:40:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by minglight9 at 2016-07-30 14:20:07
溅射功率不要那么大，通氧量不要超10%，如果还不行，就要换靶材了。
...

请问下，这个10%是氧气占腔体体积的10%吗？
功率这个问题我确实也注意到了，功率大的时候黑得多，低的时候透射也高一些
就是低功率不大好控制，肉眼经常看不到羽辉，我再尝试下， 谢谢

对了，还有个问题请教下，目前我用的激光沉积镀膜是没有通Ar的，只是在腔体抽成真空后，
在开始沉积的时候开始通入一定量氧气，玻璃基片有加热，沉积结束就把氧气停了，然后在真空中自然退火降温


对于我没有加Ar会有影响么？ 因为我看其他的沉积方式都有用混合气体Ar+O2，但是他们的氩气要用来轰击靶材料
而激光沉积应该不用这个。所以想请教下


谢谢
赞一下 回复此楼
9楼2016-07-30 14:47:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 20 个回答

xiangyunone

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
通氧气应该会降低薄膜的方块电阻吧  我做过AZO中通氧气 方块电阻比不通氧气时高很多。可能是因为氧空位少了
赞一下 回复此楼
2楼2016-07-26 11:08:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xiangyunone at 2016-07-26 11:08:33
通氧气应该会降低薄膜的方块电阻吧  我做过AZO中通氧气 方块电阻比不通氧气时高很多。可能是因为氧空位少了

恩，我也这么猜想。但是不通氧薄膜的透射很低就是了，谢谢
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

dengdenger
3楼2016-07-26 12:15:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

再见理想35

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by kevin123581 at 2016-07-26 12:15:17
恩，我也这么猜想。但是不通氧薄膜的透射很低就是了，谢谢...

能做的85%，就不错了
赞一下 回复此楼
4楼2016-07-28 08:22:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 20 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 大佬帮着分析今年的评审意见？该课题连续申请了三年了，明年要不要换个方向。 100+3 cai-11138 2026-08-31 11/550 2026-09-06 20:49 by archvillain
[文学芳草园] 两块石头 +7 阿美_Lml888 2026-09-03 10/500 2026-09-06 20:08 by 阿美_Lml888
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 j5mmowWXNWxv 2026-09-05 4/200 2026-09-06 19:21 by eObJPa4gWmp6
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 j5mmowWXNWxv 2026-09-05 6/300 2026-09-06 18:41 by eObJPa4gWmp6
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 4/200 2026-09-06 18:09 by eObJPa4gWmp6
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 6/300 2026-09-06 18:09 by eObJPa4gWmp6
[找工作] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 8/400 2026-09-06 17:49 by eObJPa4gWmp6
[教师之家] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 9/450 2026-09-06 17:09 by eObJPa4gWmp6
[博后之家] 广西大学-广州大学招聘博士后 欢迎广大优秀人才！！！ +5 SCSIOyxguo 2026-09-03 8/400 2026-09-06 15:06 by 可爱小花朵
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 j5mmowWXNWxv 2026-09-05 3/150 2026-09-06 13:09 by eObJPa4gWmp6
[基金申请] 科研人应该花精力去思考如何解决问题，而不是去凝练问题 +10 瞬息宇宙 2026-09-01 19/950 2026-09-06 11:15 by jiangxuan2004
[论文投稿] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-04 8/400 2026-09-06 11:00 by eObJPa4gWmp6
[考研] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 4/200 2026-09-06 07:20 by E1iiBLMU2XnD
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +6 7ZYIEW2YWn72 2026-09-04 9/450 2026-09-06 06:00 by E1iiBLMU2XnD
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +8 CRJ0Aq2FtVH0 2026-09-03 15/750 2026-09-06 05:48 by E1iiBLMU2XnD
[基金申请] 面上没中，邀请各位路过的虫友分析一下分数 +12 jackleilei 2026-09-03 13/650 2026-09-05 18:10 by fireguard
[文学芳草园] 初秋的晨风 +4 阿美_Lml888 2026-09-04 6/300 2026-09-05 13:51 by 阿美_Lml888
[基金申请] 学科评审组评审是指会评吗？ +6 瞬息宇宙 2026-08-31 9/450 2026-09-05 13:11 by haizai99
[硕博家园] 哈尔滨工业大学韩晓军教授课题组招收2027年硕士推免生及博士研究生 +3 灯灯灯灯DDDD 2026-09-03 3/150 2026-09-03 21:22 by 科研皮皮猪
[基金申请] 要骂人了，新模版改版就是要淡化问题凝练这种虚的东西，结果有个评委还在说凝练得不够 +9 瞬息宇宙 2026-08-31 17/850 2026-09-02 14:04 by anjeeshine
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭