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kevin123581金虫 (正式写手)
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[交流]
ITO和ZnO薄膜的方阻问题
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最近自己尝试了ITO和ZnO的PLD 镀膜 ITO 透射能够达到80-85%以上， ZnO90%以上 但是方阻问题貌似比较大 ITO薄膜100nm左右测量出来方阻都在20千欧左右， 看别人论文上都是只有100左右的样子 我镀膜条件是500摄氏度， 只通氧气100sccm 是氧气过多造成的么？ 氧化锌貌似方阻也差不多的样子，也是很高 谢谢 |
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kevin123581: 金币+3 2016-07-30 14:47:58
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kevin123581: 金币+3 2016-07-30 14:47:58
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溅射功率不要那么大，通氧量不要超10%，如果还不行，就要换靶材了。 发自小木虫Android客户端 |
8楼2016-07-30 14:20:07
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