应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » ITO和ZnO薄膜的方阻问题
201/2返回列表12下一页
查看: 2670  |  回复: 19
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

kevin123581

金虫 (正式写手)

[交流] ITO和ZnO薄膜的方阻问题

最近自己尝试了ITO和ZnO的PLD 镀膜
ITO 透射能够达到80-85%以上， ZnO90%以上
但是方阻问题貌似比较大
ITO薄膜100nm左右测量出来方阻都在20千欧左右，
看别人论文上都是只有100左右的样子
我镀膜条件是500摄氏度， 只通氧气100sccm
是氧气过多造成的么？
氧化锌貌似方阻也差不多的样子，也是很高


谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2016-07-25 11:40:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

minglight9

铁杆木虫 (著名写手)

工程师
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
9楼: Originally posted by kevin123581 at 2016-07-30 14:47:45
请问下，这个10%是氧气占腔体体积的10%吗？
功率这个问题我确实也注意到了，功率大的时候黑得多，低的时候透射也高一些
就是低功率不大好控制，肉眼经常看不到羽辉，我再尝试下， 谢谢

对了，还有个问题请教下 ...

激光沉积的方式有点难做，没做过，一般都是磁控溅射的比较多，氧含量是指氩氧比。

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
再牛逼的肖邦也弹不出老子的悲伤。
10楼2016-08-01 08:07:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

xiangyunone

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
通氧气应该会降低薄膜的方块电阻吧  我做过AZO中通氧气 方块电阻比不通氧气时高很多。可能是因为氧空位少了
赞一下 回复此楼
2楼2016-07-26 11:08:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xiangyunone at 2016-07-26 11:08:33
通氧气应该会降低薄膜的方块电阻吧  我做过AZO中通氧气 方块电阻比不通氧气时高很多。可能是因为氧空位少了

恩，我也这么猜想。但是不通氧薄膜的透射很低就是了，谢谢
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

dengdenger
3楼2016-07-26 12:15:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

再见理想35

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by kevin123581 at 2016-07-26 12:15:17
恩，我也这么猜想。但是不通氧薄膜的透射很低就是了，谢谢...

能做的85%，就不错了
赞一下 回复此楼
4楼2016-07-28 08:22:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 再见理想35 at 2016-07-28 08:22:45
能做的85%，就不错了...

恩，谢谢。请教个问题，我看很多镀膜的时候都有通入Ar和O2，Ar的作用是什么呢，是为了让等离子羽辉发散角变大便于均匀镀膜还是有其他的功能考虑？
我因为设备原因是没有Ar的。

谢谢
赞一下 回复此楼
5楼2016-07-28 13:27:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

minglight9

铁杆木虫 (著名写手)

工程师
氧多了。

发自小木虫Android客户端
回复此楼
再牛逼的肖邦也弹不出老子的悲伤。
6楼2016-07-29 10:07:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by minglight9 at 2016-07-29 10:07:57
氧多了。

恩，谢谢，确实氧气问题很大。
今天测量了下不通氧气的，方阻在150左右，虽然也还算大，但是远比20k的小多了；
不过不通氧气的话薄膜基本是黑色的就是了，透射10%的样子
赞一下 回复此楼
7楼2016-07-29 14:37:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

minglight9

铁杆木虫 (著名写手)

工程师
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
kevin123581: 金币+3 2016-07-30 14:47:58
引用回帖:
7楼: Originally posted by kevin123581 at 2016-07-29 14:37:59
恩，谢谢，确实氧气问题很大。
今天测量了下不通氧气的，方阻在150左右，虽然也还算大，但是远比20k的小多了；
不过不通氧气的话薄膜基本是黑色的就是了，透射10%的样子...

溅射功率不要那么大，通氧量不要超10%，如果还不行，就要换靶材了。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
再牛逼的肖邦也弹不出老子的悲伤。
8楼2016-07-30 14:20:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by minglight9 at 2016-07-30 14:20:07
溅射功率不要那么大，通氧量不要超10%，如果还不行，就要换靶材了。
...

请问下，这个10%是氧气占腔体体积的10%吗？
功率这个问题我确实也注意到了，功率大的时候黑得多，低的时候透射也高一些
就是低功率不大好控制，肉眼经常看不到羽辉，我再尝试下， 谢谢

对了，还有个问题请教下，目前我用的激光沉积镀膜是没有通Ar的，只是在腔体抽成真空后，
在开始沉积的时候开始通入一定量氧气，玻璃基片有加热，沉积结束就把氧气停了，然后在真空中自然退火降温


对于我没有加Ar会有影响么？ 因为我看其他的沉积方式都有用混合气体Ar+O2，但是他们的氩气要用来轰击靶材料
而激光沉积应该不用这个。所以想请教下


谢谢
赞一下 回复此楼
9楼2016-07-30 14:47:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 kevin123581 的主题更新
201/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 急需审稿人！！！ +3 陆小果画大饼 2026-04-21 3/150 2026-04-21 23:54 by jzy_123456
[考博] 申博/考博 +4 啃面包的小书虫 2026-04-17 8/400 2026-04-21 16:26 by 啃面包的小书虫
[考研] 一志愿A区211，22408 321求调剂 +7 随心所欲☆ 2026-04-15 8/400 2026-04-21 08:22 by Equinoxhua
[考研] 295分求调剂 +6 ?要上岸? 2026-04-17 6/300 2026-04-21 08:18 by Equinoxhua
[论文投稿] 期刊推荐 +3 材料研究生 2026-04-15 5/250 2026-04-20 16:02 by 豆豆7758
[论文投稿] 有没有接收比较快的sci期刊呀，最好在一个月之内的，研三孩子求毕业 20+4 之护着 2026-04-16 7/350 2026-04-20 15:45 by 豆豆7758
[教师之家] 又一批高校组建人工智能学院 师资行吗 不是骗人吗 +4 yexuqing 2026-04-19 4/200 2026-04-20 14:47 by brantleo
[考博] 申博 +3 Xyyx. 2026-04-18 3/150 2026-04-20 10:44 by YuY66
[考博] 湖南大学刘巧玲课题组2026年第二批次博士研究生招生信息 +3 南风观火 2026-04-18 5/250 2026-04-20 10:13 by 南风观火
[考研] 304求调剂 +8 castLight 2026-04-16 8/400 2026-04-19 17:14 by 中豫男
[考研] 求调剂 +10 小聂爱学习 2026-04-16 12/600 2026-04-19 16:51 by 中豫男
[考研] 求调剂 +6 苦命人。。。 2026-04-18 7/350 2026-04-19 16:27 by 中豫男
[考研] 0854求调剂 +23 门路摸摸 2026-04-15 27/1350 2026-04-19 01:59 by 烟雨流涯
[考研] 300求调剂 +12 橙a777 2026-04-15 12/600 2026-04-18 23:51 by 路病情
[考研] 接受任何调剂 +6 也就是栗子 2026-04-17 7/350 2026-04-18 17:20 by 涵竹刘
[考研] 收到复试调剂但是去不了 +8 小蜗牛* 2026-04-16 8/400 2026-04-18 11:15 by zixin2025
[考研] 260求调剂 +4 Zyt1314520.. 2026-04-17 5/250 2026-04-18 08:28 by babysonlkd
[考研] 急需调剂 +9 绝不放弃22 2026-04-15 10/500 2026-04-18 08:09 by chixmc
[有机交流] 二苯甲酮酸类衍生物 50+3 小白爱主人 2026-04-17 6/300 2026-04-17 18:47 by kf2781974
[考研] 一志愿沪9，生物学326求调剂 +9 刘墨墨 2026-04-15 9/450 2026-04-16 17:14 by 崔崔崔cccc
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭