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求助刻蚀Au的工艺
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请问如何在一个倾斜的表面例如锥，刻蚀其表面的AU，金属是用热蒸发生长上去的,大约70nm，我之前有尝试用反应离子刻蚀，刻蚀过，效果不好，锥表面上的没怎么掉，衬底平面上都刻坏了，大家有什么好的办法吗？谢谢啦！ 发自小木虫Android客户端 |
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 薄膜材料和器件制备 |
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2楼2016-07-10 20:33:22
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reninhat
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