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求助刻蚀Au的工艺
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请问如何在一个倾斜的表面例如锥，刻蚀其表面的AU，金属是用热蒸发生长上去的,大约70nm，我之前有尝试用反应离子刻蚀，刻蚀过，效果不好，锥表面上的没怎么掉，衬底平面上都刻坏了，大家有什么好的办法吗？谢谢啦！ 发自小木虫Android客户端 |
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2楼2016-07-10 20:33:22
3楼2016-07-10 22:46:35
reninhat
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4楼2016-07-11 09:28:03
5楼2016-07-11 10:33:47
reninhat
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天降花雨6楼2016-07-11 10:35:29
7楼2016-07-11 14:50:41
强哥哥哥
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8楼2016-07-11 19:33:13
9楼2016-07-12 00:35:33
mjsophia1990
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10楼2017-10-13 21:37:15