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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助刻蚀Au的工艺
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天降花雨

铁虫 (初入文坛)

[求助] 求助刻蚀Au的工艺

请问如何在一个倾斜的表面例如锥，刻蚀其表面的AU，金属是用热蒸发生长上去的,大约70nm，我之前有尝试用反应离子刻蚀，刻蚀过，效果不好，锥表面上的没怎么掉，衬底平面上都刻坏了，大家有什么好的办法吗？谢谢啦！

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1楼 2016-07-10 20:17:41
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天降花雨

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-07-11 19:33:13
锥形？

恩，锥形的

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9楼2016-07-12 00:35:33
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ep.AuNi

新虫 (小有名气)
底材是什么

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2楼2016-07-10 20:33:22
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天降花雨

铁虫 (初入文坛)
就是普通的硅片

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3楼2016-07-10 22:46:35
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天降花雨

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by reninhat at 2016-07-11 09:28:03
湿法刻蚀吧

湿法刻蚀不会全部都刻掉吗？

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5楼2016-07-11 10:33:47
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