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[求助]
求助刻蚀Au的工艺
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请问如何在一个倾斜的表面例如锥,刻蚀其表面的AU,金属是用热蒸发生长上去的,大约70nm,我之前有尝试用反应离子刻蚀,刻蚀过,效果不好,锥表面上的没怎么掉,衬底平面上都刻坏了,大家有什么好的办法吗?谢谢啦! 发自小木虫Android客户端 |
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薄膜材料和器件制备 |
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mjsophia1990
木虫 (正式写手)
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