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【求助】磁控溅射镀膜的均匀性
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求助：为什么最近用磁控溅射沉积的陶瓷薄膜不均匀，肉眼就能看见沉积出来的薄膜上有很明显的亮度 不同的两片区域，一部分比较亮而另一部分比较暗，基体是高温合金，尺寸为10*10，单靶沉积，以前从来没有过，现在参数没变却这样实在不懂是怎么了，忘高手指教啊！[ Last edited by SHY31 on 2008-11-10 at 12:10 ] |
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xiaobo1255
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