应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 【求助】磁控溅射镀膜的均匀性
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 683  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。

jjli

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射镀膜的均匀性

求助：为什么最近用磁控溅射沉积的陶瓷薄膜不均匀，肉眼就能看见沉积出来的薄膜上有很明显的亮度不同的两片区域，一部分比较亮而另一部分比较暗，基体是高温合金，尺寸为10*10，单靶沉积，以前从来没有过，现在参数没变却这样实在不懂是怎么了，忘高手指教啊！

[ Last edited by SHY31 on 2008-11-10 at 12:10 ]
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2008-11-10 09:24:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qiqifyc

木虫 (小有名气)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流，欢迎常来
是不是基体处理的时候最后一道清洗是用的酒精或者丙酮呢？
如果是酒精或者丙酮等有机溶剂可能会在表面先聚集，然后再挥发掉，不免有些残留，可能对成膜有影响；
还有基体的运动方式，是静止在靶材前面，还是在靶材前旋转。如果静止在靶材前面的一个位置，就很有可能造成不均匀性。
个人愚见，共同探讨！
赞一下(10人) 回复此楼
2楼2008-11-10 11:14:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaobo1255

木虫 (著名写手)
SHY31(金币+0,VIP+0):你们的IP怎么是一样的呢？
想问下楼上，那么要磁控溅射的基体应当如何清洗呢？抛光的话要跑到什么程度呢？最近做磁控溅射，在不锈钢基体上溅射MnCo合金，但其成膜性很差。镀上的膜都在试样中央裂开，卷起。是不是因为清洗的原因？靶和基体是静止正对的。
赞一下(10人) 回复此楼
3楼2008-11-10 11:43:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jjli

木虫 (小有名气)
十分感谢啊，可能是清洗的原因吧，因为最后用的是酒精，前面用的是去离子水。我觉得应该跟靶的位置没什么关系，因为以前也是同样的做法，虽然样品是静止的，但是面积很小，应该不会产生这么大的影响。另外跟楼上的交流一下，我的基体的清洗一般是丙酮，酒精，去离子水，每种三次。最后在空气中吹干，此时样品上没有水渍即可，听你说的好像是样品没洗干净的样子，但是不能每次都这么凑巧吧，溅射时没有加热吗？会不会跟冷却引起的应力有关，我也不太懂，呵呵，
赞一下 回复此楼
4楼2008-11-11 08:58:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qiqifyc

木虫 (小有名气)
★
jjli(金币+1,VIP+0):十分感谢 2-12 08:12
清洗得顺序应该是：
去污粉--甲苯--丙酮--无水乙醇--去离子水--在去离子水中进行超声清洗10-15min
然后要在红外线灯下烘烤一段时间

还有在溅射过程中最好加下温，一般两百度以上，基体在溅射过程中温度会有点升高，可能实际温度在三百左右。去除化学吸附和物理吸附的氧和水分，增加溅射过程中粒子的扩散。

还有就是样品最好围绕样品室中心做行星式运动，可以极大提高均匀性，但是成膜速率确降低得非常严重。
赞一下 回复此楼
5楼2008-11-12 13:32:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 jjli 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 求调剂材料科学与工程一志愿985初试365分 +3 材化李可 2026-04-08 3/150 2026-04-08 11:46 by zzucheup
[考研] 293调剂 +17 yj1221 2026-04-08 18/900 2026-04-08 11:17 by linachillybaby
[考研] 一志愿211，0703化学305分求调剂 +15 严西西戏 2026-04-06 19/950 2026-04-08 09:17 by oooqiao
[考研] 327求调剂 +7 Xxjc1107. 2026-04-06 8/400 2026-04-08 07:15 by 无际的草原
[考研] 0854电子信息319求调剂（接受跨专业调剂） +5 星星不眨眼喽 2026-04-05 6/300 2026-04-07 22:16 by hemengdong
[考研] 土木水利专硕276分求调剂 +4 我想上学！！6 2026-04-05 7/350 2026-04-07 22:10 by Delta2012
[考研] 一志愿南昌大学，085600，344分求调剂 +9 调剂上岸玘 2026-04-05 10/500 2026-04-06 09:30 by dongzh2009
[考研] 085600，320分求调剂 +16 大馋小子 2026-04-04 17/850 2026-04-06 07:58 by MOF_Catal
[考研] 一志愿211，化学学硕，310分，本科重点双非，求调剂 +13 努力奋斗112 2026-04-04 13/650 2026-04-06 07:13 by jj987
[考研] 材料与化工371求调剂 +14 陪琳看海 2026-04-04 15/750 2026-04-06 06:59 by houyaoxu
[考研] 0703求调剂383分 +9 W55j 2026-04-03 9/450 2026-04-06 06:50 by houyaoxu
[考研] 284求调剂 +7 徐同学_001 2026-04-04 13/650 2026-04-05 17:19 by yulian1987
[考研] 工科求调剂 +15 11ggg 2026-04-03 15/750 2026-04-05 16:24 by zzx2138
[考研] 085602调剂 初试总分335 +12 19123253302 2026-04-04 12/600 2026-04-05 08:08 by 544594351
[考研] 一志愿北京化工大学，初试成绩350求调剂 +9 沿岸?贝壳 2026-04-04 14/700 2026-04-05 01:09 by 沿岸?贝壳
[考研] 085400电子信息319求调剂（接受跨专业调剂） +5 星星不眨眼喽 2026-04-03 6/300 2026-04-04 21:50 by hemengdong
[考研] 调剂0855-288 +5 x熊二a 2026-04-03 5/250 2026-04-04 00:19 by 猪会飞
[考研] 求调剂 +3 usbdndj 2026-04-03 3/150 2026-04-03 14:10 by dxiaoxin
[考研] 085501一志愿天工大，机械专硕求调剂，跨材料 +3 33上 2026-04-03 3/150 2026-04-03 14:08 by 1753564080
[考研] 071000生物学调剂 +8 知昭蔓 2026-04-02 8/400 2026-04-03 10:36 by macy2011
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭