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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 射频磁控溅射Ti靶发灰、融化
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繁星swpu

木虫 (正式写手)

[交流] 射频磁控溅射Ti靶发灰、融化

在用射频镀膜过程中，4.5w/cm2功率密度（1.8kw，400mmX100mm靶），大概一个小时，开炉门后发现靶融化了，前几次做都没问题，就这次突然就融化了。

换新Ti靶，用4.5w/cm2功率密度，在玻璃上镀膜，开炉门后发现靶表面一层灰的东西，用无尘布擦不掉，用砂纸一打就露出了亮的Ti。

不知道大家有什么看法。

射频磁控溅射Ti靶发灰、融化
Ti靶背面（融化）


射频磁控溅射Ti靶发灰、融化-1
Ti靶正面（融化）


射频磁控溅射Ti靶发灰、融化-2
Ti靶表面发灰
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1楼 2016-06-20 10:26:54
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shenrenren
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2楼2016-06-20 10:37:23
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laom2013
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3楼2016-06-20 10:47:34
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落花剑雨
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4楼2016-06-20 10:51:17
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ntrdyb
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5楼2016-06-20 10:56:35
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miaojiabing
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6楼2016-06-20 10:58:47
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hnlj158
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7楼2016-06-20 11:01:02
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tableman

木虫之王 (文学泰斗)
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祝福楼主了。
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8楼2016-06-20 11:02:39
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slytjiaofei
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9楼2016-06-20 11:02:43
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天涯2012
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10楼2016-06-20 11:02:52
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