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繁星swpu木虫 (正式写手)
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[交流]
射频磁控溅射Ti靶发灰、融化
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在用射频镀膜过程中，4.5w/cm2功率密度（1.8kw，400mmX100mm靶），大概一个小时，开炉门后发现靶融化了，前几次做都没问题，就这次突然就融化了。 换新Ti靶，用4.5w/cm2功率密度，在玻璃上镀膜，开炉门后发现靶表面一层灰的东西，用无尘布擦不掉，用砂纸一打就露出了亮的Ti。 不知道大家有什么看法。  Ti靶背面（融化）  Ti靶正面（融化）  Ti靶表面发灰 |
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 薄膜制备与特性 |
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tableman
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