| 查看: 3083 | 回复: 18 | ||||
繁星swpu木虫 (正式写手)
|
[交流]
射频磁控溅射Ti靶发灰、融化
|
|
在用射频镀膜过程中，4.5w/cm2功率密度（1.8kw，400mmX100mm靶），大概一个小时，开炉门后发现靶融化了，前几次做都没问题，就这次突然就融化了。 换新Ti靶，用4.5w/cm2功率密度，在玻璃上镀膜，开炉门后发现靶表面一层灰的东西，用无尘布擦不掉，用砂纸一打就露出了亮的Ti。 不知道大家有什么看法。  Ti靶背面（融化）  Ti靶正面（融化）  Ti靶表面发灰 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
存款400万可以在学校里躺平吗
已经有7人回复
-
基金委咋了？2026年的指南还没有出来？
已经有10人回复
-
拟解决的关键科学问题还要不要写
已经有6人回复
-
基金申报
已经有6人回复
-
推荐一本书
已经有13人回复
-
国自然申请面上模板最新2026版出了吗？
已经有17人回复
-
纳米粒子粒径的测量
已经有8人回复
-
疑惑？
已经有5人回复
-
计算机、0854电子信息（085401-058412）调剂
已经有5人回复
-
Materials Today Chemistry审稿周期
已经有5人回复
★
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与
 |
2楼2016-06-20 10:37:23
★
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与
 |
3楼2016-06-20 10:47:34
★
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与
|
|
4楼2016-06-20 10:51:17
★
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与
 |
5楼2016-06-20 10:56:35
★
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与
|
|
6楼2016-06-20 10:58:47
★
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与
|
|
7楼2016-06-20 11:01:02
tableman
木虫之王 (文学泰斗)
- 应助: 70 (初中生)
- 金币: 178100
- 散金: 150
- 红花: 480
- 沙发: 2
- 帖子: 134984
- 在线: 4345.1小时
- 虫号: 2148458
- 注册: 2012-11-26
8楼2016-06-20 11:02:39
★
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与
|
|
9楼2016-06-20 11:02:43
★
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与
|
|
10楼2016-06-20 11:02:52